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第45章（第1页）

姜文泽现在的资金还在对方手里攥着，更是不可能说什么丑话，赶紧打圆场道：

“岑部长愿意来，那是我们的荣幸，只不过由于特殊原因，我们这个会议只能在这个狭小的办公室开展，您见谅。”

“这有什么枪林弹雨都经历过了，这么大的地方根本不在话下。”

岑部长也不是什么讲究的人，随意在姜文泽刚刚的座位旁边落座，切切实实地做好自己旁听的身份。

见状，其他人也随意挑选了一个座位坐下。

最后呈现在众人面前的就是如此诡异的画面，所有能够拥有座位的都是教授级别青老年，除了李筠三人，因此在整间办公室里面，三个人所在的区域格外惹人注目。

姜文泽看着时间差不多，对着李筠三人的方向点点头，说出开场白。

“今天特意邀请大家来这里相聚，是想要和大家分享一下我们团队，近期发现的一项重大成果，具体内容将由我团队里的李筠、秦浩、黎绵三人介绍。”

话音刚落，原本就锁定在三人身上的视线更加炙热。

秦浩和黎绵两人也忍不住将自己的目光转移到李筠身上。

这下子李筠还有什么不明白的，看来她自己就是那个做讲解的人。

对于这样的场面她熟视无睹，既然同伴将“麦克风”交到她手里，她也不会推辞。

于是，在大家的注视下，李筠站起身，一边将自己和秦浩、黎绵身前的资料和数据往桌上的人手里发，一边开口介绍道：

“这里面是我们三人在探索深紫外光源的过程中，所产生的一系列相关数据，以及我们探索路径的选择缘由。

自从人们发现汞灯可以产生稳定可持续的g-line和i-line紫外光源之后，这两种光源就一直作为光刻机所采用的光源。但是随着时代的变化，我们逐渐发现这两种光源所制作的晶圆，远远不能达到现在的需求。

为此，我们姜教授团队开始了寻找深紫外光源的探索。前期，因为汞灯能够产生更短的i-line，我们也是继续在这方面深入研究，但很快我们就发现，这几乎已经达到了它的极限。

之后，我们联想到激发态的分子在向基态跃迁时，会产生……”

李筠用着不紧不慢地语气，将他们这半年来的研究过程娓娓道来。

虽然大家都没从语句中听到惊险、无奈的词句，可是在场的每一个人都很清楚，没什么研究会是如此简单的，其中的困难三言两语更是说不清楚。

但就是这样的话语，听着更让人舒服，也更让人心疼。

而大家也逐渐明白这次会议的主题，那就是他们终于发现了比365nmi-line波长更短的193nm的ArF准分子激光。

这对于众人而言，简直就是难以置信的重大发现。

因为光源的波长越短，光刻机的分辨率就越小，分辨率越小，代表着清晰投影出来的图像越小。

在同样大小的一块晶圆上，投影图像越小，那么能在里面刻出的内容就越多，存储的信息就越多。

更震惊的是，这只是一个大一学生在看到分子跃迁时产生的突发联想。

众人不由得在内心感叹后生可畏，岑部长更是将自己的目光频频投向李筠身上，感叹对方的才思敏捷。

同时也松了一口气，这个重大发现意味着，本轮之后，微电子研究所的资金还可以再下拨不少，希望足够支撑大家到达下一轮研究。

在有些事情上，他也是有心无力。

虽然，大家都听清楚了几人是如何联想、发现的，但是本着对科学的严苛态度，还是有人不断发声提问。

“我看你们说，再使用ArF之前，还使用了XeF2，这两种化合物都含有剧毒且极其不稳定，你们确定激光器不会因此而产生难以预想的变化吗？”

李筠说了那么久，嘴巴都说干了，赶紧给其他两人抛去眼神。

秦浩当即站出来，描述他们对于未来激光器设计的想象。

“其实在我们注入气体之后就发现了这个潜在的隐患，所以，我们想要在未来激光器的设计上，专门设置一个……”

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