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第23章 中微公司688012的前世今生（第6页）
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等，涵盖了多种薄膜沉积工艺。新开发的
lpcvd
薄膜设备和
ald
薄膜设备也已进入市场并获得重复性订单，其中
lpcvd
薄膜设备累计出货量已突破
100
个反应台，2024
年实现首台销售，全年设备销售约
1.56
亿元
。公司的
epi
设备已顺利进入客户端量产验证阶段，在关键薄膜沉积设备研发项目上也正在顺利推进。
财务状况与经营成果
从财务数据来看，中微公司展现出了强大的盈利能力和发展潜力。2023
年，公司实现营业收入
62.64
亿元，同比增长
32.15%；归母净利润
17.86
亿元，同比增长
52.67%；新增订单金额约
83.6
亿元，同比增长约
32.3%
。2024
年，公司业绩再创新高，预计实现营业收入约
90.65
亿元，较
2023
年增加约
28.02
亿元，同比增长约
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